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壓力傳感器
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擴散硅壓力變送器的工作原理

發(fā)布者:杭州米科傳感技術有限公司 發(fā)布時間:2023-05-19 15:39:12

隨著工業(yè)自動化和過程控制的不斷發(fā)展,壓力變送器在工業(yè)生產(chǎn)和科研領域得到了廣泛應用。擴散硅壓力變送器作為一種常見的壓力變送器,其工作原理是基于壓力傳感器的壓阻效應,通過測量壓力變化來實現(xiàn)對壓力的測量。本文將詳細介紹擴散硅壓力變送器的工作原理,幫助讀者了解其優(yōu)越性和局限性。


一、基本原理與結(jié)構特點

擴散硅壓力變送器基于擴散硅壓力傳感技術,它主要由擴散硅壓力傳感器、信號放大電路、反饋電路、線性化電路、溫度補償電路以及灌充接線端子組成。

其結(jié)構特點在于利用陶瓷燒結(jié)的擴散硅為測量元件,傳感芯片焊裝于過渡硅基體上形成灌充液芯。擴散硅膜片將應變式傳感技術和擴散硅技術有機結(jié)合,具有靈敏度高、穩(wěn)定性好、響應速度快等優(yōu)點。

二、工作原理

1、輸入信號的產(chǎn)生

傳感器首先將被測壓力轉(zhuǎn)換為電信號,通過引線引入到信號放大電路中。放大電路將微弱的電信號放大,并進行隔離和濾波處理,以保證信號的穩(wěn)定性和精度。

2、轉(zhuǎn)換與放大

信號經(jīng)過放大電路處理后,傳輸至反饋電路進行調(diào)理。反饋電路對信號進行電橋平衡補償,使其與測量環(huán)境溫度保持一致。

3、線性化處理

經(jīng)過反饋電路調(diào)理后的信號進入線性化電路,對其進行線性化處理。線性化電路采用零位補償和增益調(diào)整等方法,使輸出信號與輸入信號呈線性關系。

4、溫度補償

為了消除溫度對測量結(jié)果的影響,需要進行溫度補償。擴散硅壓力變送器內(nèi)置溫度傳感器,通過測量溫度與環(huán)境溫度之差,實現(xiàn)對溫度的補償。

5、灌充接線端子

擴散硅壓力變送器在出廠前已完成灌充液芯的密封和絕緣處理,用戶只需按照接線圖連接即可。

三、結(jié)果分析

擴散硅壓力變送器在壓力測量中具有準確、穩(wěn)定、快速等優(yōu)勢,其測量結(jié)果可滿足生產(chǎn)工藝對壓力測量的要求。在實際應用中,擴散硅壓力變送器也存在一定的局限性,如在高溫環(huán)境下容易受到熱穩(wěn)定性影響、存在固體顆粒易堵塞測量膜片等問題。

四、結(jié)論

總之,擴散硅壓力變送器作為一種常見的壓力變送器,具有準確、穩(wěn)定、快速等優(yōu)勢。在實際應用中,我們應根據(jù)具體應用場景選擇合適的壓力變送器,以滿足生產(chǎn)工藝對壓力測量的要求。同時,我們也應關注其局限性,以提高使用效果并保證設備運行安全。